美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術(shù)規(guī)格 |
點擊次數(shù):396 更新時間:2024-05-07 |
美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷為了大限度地提高工藝的重復(fù)性和一致性,現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控是確保射頻電源準(zhǔn)確、可重復(fù)地向腔室輸送射頻電源的關(guān)鍵組成部分。當(dāng)使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩(wěn)定、低VSWR負(fù)載,用于快速和精確地測量發(fā)電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準(zhǔn)時間不同,沒有必要進(jìn)行負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險。這可以最小化與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯誤,并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。 美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術(shù)規(guī)格如下: 項目編號 8921SC13 項目名稱 5千瓦,超穩(wěn)定,油電射頻終止載荷 功率等級 5千瓦 頻率范圍及VSWR 直流至28兆赫@最大1.1兆赫。 阻擋物 50 (nominal) Vswr穩(wěn)定性 0-100%的穩(wěn)定頻率功率 穩(wěn)定頻率 13.56兆赫+10千赫 連接器 "QC" Type LC (Female) - normally supplied 互鎖熱開關(guān)-可選 一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放 熱開關(guān)等級 115伏,10a 溫度范圍 操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F) 高度 1520 m (5000 ft.) 潮濕 95%不凝結(jié)最大值。 冷卻法 石油介質(zhì)和對流電流 尺寸 32.8" x 9.5" x 26.9" 重量 126 lbs. 結(jié)束 環(huán)氧樹脂 東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司,廠家一手貨源,詳請致電。 |